集成电路工艺之离子注入PPT课件

- 离子注入应用 - 隔离工序中防止寄生沟道用的沟道截断调整阈值电压用的沟道掺杂CMOS阱的形成浅结的制备 在特征尺寸日益减小的今日，离子注入已经成为一种主流技术。