磁控溅射法制备ITO膜的研究

目录前  言    1第一章 ITO薄膜概述    2§ 1.1  ITO薄膜的结构    2§1.2  ITO薄膜的特性    2§ 1.3  ITO薄膜的基本原理    31.3.1 ITO膜的导