基于铟镓锌氧垂直沟道结构薄膜晶体管的制备及性能研究的任务书

基于铟镓锌氧垂直沟道结构薄膜晶体管的制备及性能研究的任务书任务书一、课题背景随着半导体工业的高速发展，晶体管在电子器件中的应用越来越广泛，也越来越受到关注。其中，薄膜晶体管作为一种新型的微电子器件，因