热力学的建立及感想

热力学的建立及感想 化学气相沉积的热力学原理及研究进展 姓名：韩瑞山 指导教师：郭领军 摘要。本文主要介绍了制备碳/碳复合材料优秀的材料特性及其化学气相沉积制备工艺，并分