传感器结构原理与设计---第四章 电容式传感器

- 第四章  电容式传感器 - 优点：结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此