改良西门子法生产多晶硅中三氯氢硅精馏工艺的开发模拟研究的中期报告

改良西门子法生产多晶硅中三氯氢硅精馏工艺的开发模拟研究的中期报告本项目旨在研发改良西门子法生产多晶硅中三氯氢硅精馏工艺。在前期的研究中，已经对改良后的三氯氢硅精馏工艺进行了实验，并且对实验结果进行了分