电容式薄膜真空计精度分析

电容式薄膜真空计精度分析电容式薄膜真空计是一种常见的真空度测量仪器，其原理基于电容变化与压力的关系。本文旨在对电容式薄膜真空计的精度进行分析，并探讨其应用范围和改进的可能性。一、电容式薄膜真空计的原理