BST薄膜的射频溅射沉积及性能研究（可编辑）

BST薄膜的射频溅射沉积及性能研究（可编辑）华中科技大学 硕士学位论文 BST薄膜的射频溅射沉积及性能研究 姓名:王亚鹏 申请学位级别:硕士 专业:微电子学与固体电子学 指导教师:胡作启 200905