电池片制作工艺对硅片中同心圆的影响

电池片制作工艺对硅片中同心圆的影响摘要:主要研究了电池片生产工艺的各道工序会对存在同心圆的单晶硅片产生的影响，使用光致发光测试仪测试存在同心圆的单晶硅片经过各道工序后的PL图像，其PL图像结果表明了电