基于MEMS技术波长可调谐VCSEL模式模型建立及器件制备的任务书

基于MEMS技术波长可调谐VCSEL模式模型建立及器件制备的任务书一、背景及研究意义VCSEL（Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，垂直腔面射出激光器）作为一