等离子体辅助热蒸镀Al薄膜和ZnO薄膜的微结构和光学性能研究的任务书

等离子体辅助热蒸镀Al薄膜和ZnO薄膜的微结构和光学性能研究的任务书任务书一、任务背景薄膜技术作为一种新的制备工艺，逐渐成为人们研究的热点领域。其中，等离子体辅助热蒸镀技术因其制备简单、成本低等特点，