阴极弧离子镀颗粒抑制行为及其膜性能的研究的开题报告

阴极弧离子镀颗粒抑制行为及其膜性能的研究的开题报告一、研究背景阴极弧离子镀技术是一种在高真空环境下利用钨棒引发弧光放电，在弧光接触材料表面时产生高能离子束，将金属离子沉积在材料表面形成薄膜的技术。该技