直拉法单晶硅的工艺改进

直拉法单晶硅制备的工艺改进 姓名:陈胜皇 班级:新能源材料与器件 学号:1303230004 摘要:单晶硅根据硅生长方向的不同分为区熔单晶硅,外延单晶硅和直拉单晶硅。直拉单晶硅的制备工艺一般包括多晶硅