微细与特种加工技术

- 目前微纳米中心拥有是实验室面积5800m2,超净间600m2,仪器设备价值近2000余万元。直接从事微结构与微系统的设计、制造、检测等方面研究的工作人员40人，其中90%为中青年研究人员和博士学位