并行差动共焦轴向测量宽场误差修正方法

并行差动共焦轴向测量宽场误差修正方法并行差动共焦轴向测量宽场误差修正方法摘要：并行差动共焦技术作为一种具有测量精度高、速度快、非接触性等优点的光学测量方法，在各个领域得到了广泛应用。然而，在测量过程中