薄膜复习题

1. 熟悉真空度的物理单位及其相互换算。2. 了解真空泵的主要性能指标。3. 了解主要的真空泵种类。4. 了解主要的真空测量方法。5. 掌握物理气相沉积、化学气相沉积技术各自的特点。6. 列举真空蒸发