化学气相沉积钨尾气再利用与无害化处理的研究的任务书

化学气相沉积钨尾气再利用与无害化处理的研究的任务书一、课题背景及研究内容概述钨是一种重要的工业原料，广泛用于制造硬质合金、电极、光学玻璃等。化学气相沉积（CVD）是一种常用的制备超薄膜的方法，其中一些