磁控溅射制备的含He纳米晶铜膜的微结构分析

磁控溅射制备的含He纳米晶铜膜的微结构分析摘要本文通过磁控溅射技术制备了一系列含有不同氦(Helium, He)含量的纳米晶铜膜，通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(X