自动检测技术梁森版第五章

- 第五章 电容传感器 - 本章介绍电容传感器的分类、结构、基本原理及应用，重点介绍FM调频电路。还介绍硅微机械加工技术制作的摆式硅微电容加速度传感器，电容接近开关，以及压力、