基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光的中期报告

基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光的中期报告摘要：金刚石薄膜具有极高的硬度、化学稳定性和热稳定性，在工业上有广泛应用。然而，由于其表面粗糙度和缺陷，金刚石薄膜的质量和性能需要通过抛光进行改进。本研究采