石墨烯器件与GaN器件异质集成结构及制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 113035783 A(43)申请公布日 2021.06.25(21)申请号 202110269233 .1(22)申