电子行业-第19章俄歇电子能谱分析 精品

第19章 俄歇电子能谱分析19.1引言俄歇电子的发现可以追溯到1925年，1953年开始研究俄歇电子能谱，直到1967采用了微分方式，才开始出现了商业化的俄歇电子能谱仪，并发展成为一种研究固体表面成