物理气相沉积技术的研究进展与应用

物理气相沉积技术的研究进展与应用物理气相沉积技术（Physical Vapor Deposition，PVD）是一种常见的表面修饰和涂覆技术，应用广泛于材料科学领域。本文将介绍物理气相沉积技术的研究进