LED外延技术

3.2.2蓝绿光外延片生产 图3.2-2 蓝绿光外延片生产工艺流程图 蓝宝石基片 N 2 、 H 2 N 2 、 H 2 、 N H 3 TMGa 、 T EGa N 2 、 H 2 、 N H 3