洁净测试相关名词解释

洁净测试相关名词解释尘埃：存在于表面和气体中的固体物质。粒子：粒子可以定义为具有一定尺寸、液态或固态的、或两态的物质。美国联邦209E标准定义的粒径范围是0.001微米至1微米。ISO14644标准将