磁控溅射淀积速率影响因素及最佳工艺参数研究

磁控溅射淀积速率影响因素及最佳工艺参数研究 ·实验研究 磁控溅射淀积速率 影响因素及最佳工艺参数研究 █ 董西英 马刚领 摘 要：沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工