集成电路工艺技术（康博南）第一章第二章

集成电路工艺作业第一章半导体衬底1、 列举生产半导体级硅的三个步骤，给出反应方程式。说明半导体级硅有多纯？2、 为什么要用单晶进行硅片制造？3、 CZ单晶生长法定义Czochralski(CZ)一查克