利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的开题报告

利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的开题报告一、选题背景与意义铟镓锌氧化物（IGZO）是一种新型的透明导电材料，因其高透明度和高载流子迁移率等优良特性，在薄膜晶体管等电子器件中有广泛应用。目