MEMS加速度计的原理及运用要点(共19页)
MEMS加速度计的原理及运用高鹏 黄国胜2006.12.19目录1.MEMS加速度计基本原理分析1.1 MEMS简介1.2微加速度计的类型1.3 差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理1.4 MEM
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