化学气相沉积钨制品增韧研究

化学气相沉积钨制品增韧研究化学气相沉积（CVD）是一种重要的化学制备技术，可用于制备各种高品质纳米材料和纳米结构，其中包括超硬材料、纳米涂层、光电材料和纳米电子器件等。钨是一种具有优异机械性能和电学性