单晶炉操作规程及技术规范

第二章单晶炉操作规程及技术规范 1、目的 为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。 2、适用范围 适用于华盛天龙新、老80、85型单晶炉的操作。 3、单晶炉操作工艺流程 作业准备→热