湍流型CVD反应器中生长晶体Si的数值模拟研究与探索

湍流型CVD反应器中生长晶体Si的数值模拟研究与探索摘要：湍流型CVD反应器是一种能够以高质量生长晶体Si的反应器。本文利用数值模拟方法对该反应器内晶体Si的生长过程进行研究与探索。通过对湍流型CVD