探针测试仪测量薄膜的电阻率(2012)

四探针测试仪测量薄膜的电阻率实验目的1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法；2、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。二、实验仪器采用SDY-5型双电测四探针测试仪（含：直流数字电压表