脉冲激光沉积AlN薄膜的工艺优化与机械性能

脉冲激光沉积AlN薄膜的工艺优化与机械性能脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD）是一种常用于制备薄膜材料的技术。该技术利用高能激光脉冲对靶材料进行瞬时加热，使其表面材料