基于玻璃粉键合实现对称参考结构的MEMS皮拉尼计的中期报告

基于玻璃粉键合实现对称参考结构的MEMS皮拉尼计的中期报告一、研究背景与意义皮拉尼计（Pirani gauge）是一种常见的微型压力计，广泛应用于真空系统中做高精度真空度的测量。传统的皮拉尼计采用热电