探针测量半导体或金属薄膜电阻率

实验三（I） 探针测量半导体或金属薄膜电阻率一．实验目的熟悉四探针测量半导体或金属薄膜电阻率的原理掌握四探针测量材料电阻率的方法二．实验原理薄膜材料是支持现代高新技术不断发展的重要材料之一，已经被广泛