基于四象限探测器的同步光位置测量系统研制的中期报告

基于四象限探测器的同步光位置测量系统研制的中期报告一、研究背景和研究目的在精密加工和精密测量中，高精度的同步光位置测量系统是必不可少的。传统的光电测量技术，在翻译台过程中存在一定的时间延迟，影响了测量