化学气相沉积的基本原理及特点

- - 化学气相沉积—基本原理☆化学气相沉积的基本原理口化学气相沉积的定义化学气相沉积是利用气态物质通过化学反应在基片表面形成固态薄膜的一种成膜技术。化学气相沉积(CVD)Ch