我国半导体材料标准目录

一、我国半导体材料标准1.基础标准GB/T 8756-1988 锗晶体缺陷图谱GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程GB/T 14264-1993 半导体材料