LED基材-氮化镓厚膜衬底制备技术及设备项目

LED基材---氮化镓厚膜衬底制备技术及设备项目一、推荐理由1、MOCVD—HVPE设备是国内首创设备，研制生产GaN的生产工艺也为国际国内首创；2、在光电子器件领域，具有广阔的市场前景；3、该技术与