双频容性耦合碳氟等离子体的光学诊断研究

双频容性耦合碳氟等离子体的光学诊断研究双频容性耦合碳氟等离子体的光学诊断研究随着工业和科技的不断发展，等离子体技术在材料科学、精细化工和生命科学等领域有着广泛的应用。其中，双频容性耦合等离子体被广泛应