基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片

基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片摘要本文主要介绍基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片的研究和实现。首先，介绍了高过载压力传感器的概念和应用。然后，分析了传统高过载压力传感器的缺点，并提出了采用牺牲