Cu薄膜应力的计算机模拟与表征的任务书

Cu薄膜应力的计算机模拟与表征的任务书一、任务背景和目的薄膜是一种在表面覆盖其他材料的薄片状物体。由于其具有高比表面积和相应的性质变化，因此在现代微电子、光电子及纳米技术中得到了广泛应用。薄膜的成长过