基于MEMS技术的石蜡驱动气体微流量调节阀研究

基于MEMS技术的石蜡驱动气体微流量调节阀研究基于MEMS技术的石蜡驱动气体微流量调节阀研究摘要：随着微流体技术的不断发展，石蜡驱动气体微流量调节阀成为了研究热点。本文基于MEMS技术，研究了石蜡驱动