微细超声波加工单晶硅脆塑转变判别标准的研究

微细超声波加工单晶硅脆塑转变判别标准的研究随着科技的不断发展，单晶硅正成为制作微电子器件的主要材料之一。微细超声波加工作为一种高精度的加工方法，已被广泛应用于单晶硅的加工中。然而，在超声波加工单晶硅的