锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析

锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析1. 前言过去几十年来，随着科技的快速发展，半导体工业在世界各地得到了广泛的应用。多晶硅是制造半导体器件和太阳能电池的重要材料之一，因为它具有良好的电子特性和