三维VLSI互连电容提取边界元法

摘要 摘 要 在集成电路设计过程当中，精确的电容提取决定了电路设计的成败，对于电 路设计具有重要的意义。电容提取的边界元法由于具有精度高、变量少、处理复 杂边界能力强等优点而得到了很好的应用。 现有的