薄膜材料与薄膜技术复习资料版

薄膜资料与薄膜技术第一章1.真空度区分：粗真空：105-102Pa凑近大气状态热运动为主低真空：102-10-1Pa高真空：10-1-10-6Pa超高真空：<10-6Pa2.吸附与脱附物理吸附与化学吸