多晶硅提纯技术和工艺类型

多晶硅提纯技术和工艺类型一、多晶硅生产工艺综述从大的类别来讲，硅提纯技术可以简单的划分为化学法和物理法，分别以改良西门子法和物理法为代表，还有其他的通过部分环节的改进、优化和调整产生的变异的提纯工艺。