高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究

高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究 摘要：研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上，通过理论建模、程序仿真和实验验证，对驱动环节进行了优化设计